雅科贝思力矩电机：半导体硅片清洗工艺的关键驱动力
时间：2024-06-26 点击次数：104次来源：泰道精密机电微信公众号

晶圆清洗设备：

随着半导体行业的飞速发展，对芯片成品率、品质及可靠性的要求也越来越高。在半导体硅片制造过程中，清洗工序作为影响这些关键因素的重要环节，其技术水平的提升显得尤为关键。在晶圆清洗设备中，电机作为驱动晶圆高速旋转的核心部件，其性能的好坏直接关系到清洗效果和芯片质量。

雅科贝思的力矩电机解决方案

1. 高防护等级：力矩电机采用高防护等级设计，能够有效抵御腐蚀性液体和气体的侵蚀，确保电机在恶劣环境下的稳定运行。

2. 大中孔设计，便于客户线缆以及气路的设计。

3. 优化的铁芯设计，实现更小的齿槽扭矩，实现更小的速度波动。

4.高速切换速度可达2500RPM。这种能力能够确保晶圆在清洗过程中实现快速而均匀的旋转，提高清洗效果。

在特定环境，同时对某些性能指标要求不高的运动场景中，雅科贝思会为客户定制更匹配、更具性价比的力矩电机解决方案，以满足半导体行业对电机性能的高要求。

雅科贝思的力矩电机能够在恶劣环境下稳定运行，提高清洗效果和芯片质量。未来，随着半导体行业的不断发展，力矩电机将在晶圆清洗设备中发挥更加重要的作用。

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