深圳市泰道精密机电有限公司
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具有良好的直线度及平面度
直接驱动,无背隙及齿槽效应,高响应及平滑性表现
光栅尺分辨率可选0.5um,0.1um,20nm或5nm
高刚性的龙门结构设计
有效行程400mm by 250mm
性能特点:
具有良好的直线度及平面度
直接驱动,无背隙及齿槽效应,高响应及平滑性表现
光栅尺分辨率可选0.5um,0.1um,20nm或5nm
高刚性的龙门结构设计
有效行程400mm by 250mm
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